GB/T 4060-2018

摘要：GB/T 4060-2018标准2018年09月17日发布2019年06月01日实施，此标准规定了多晶硅中基硼含量的测试方法。此标准适用于在硅芯上沉积生长的多晶硅棒中基硼含量的测定。基硼含量（原子数）测定范围为0.01X1018cm-3~5X1015cm-3。国家标准《硅多晶真空区熔基硼检验方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。