GB/T 36646-2018

摘要：GB/T 36646-2018标准2018年09月17日发布2019年01月01日实施，此标准规定了制备氮化物半导体材料用氢化物气相外延设备（以下简称“HVPE设备”）的产品分类和标记、工作条件、要求、检测方法、检验规则、标志、包装、运输和储存。此标准适用于制备直径50.8mm~152.4mm氮化物半导体材料的HVPE设备。国家标准《制备氮化物半导体材料用氢化物气相外延设备》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。