GB/T 35309-2017

摘要：GB/T 35309-2017标准2017年12月29日发布2018年07月01日实施，此标准规定了用区熔法和光谱分析法评价颗粒状多晶硅的代位碳原子浓度、施主杂质浓度和受主杂质浓度的方法。此标准适用于尺寸为600m~3000m的颗粒状多晶硅，其他尺寸的颗粒状多晶硅可参照此标准执行。国家标准《用区熔法和光谱分析法评价颗粒状多晶硅的规程》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。