GB/T 34504-2017

摘要：GB/T 34504-2017标准2017年10月14日发布2018年05月01日实施，此标准规定了蓝宝石抛光衬底片表面深度为5nm以内的残留金属元素的全反射X光荧光光谱测试方法。此标准适用于蓝宝石抛光衬底片表面残留的、在元素周期表中11(Na)~92(U）号（除去铝和氧），且面密度在109atoms/cm2~1015atoms/cm2范围内元素的定量测量。其他用途蓝宝石抛光片表面残留金属元素的测量可参照此标准执行。国家标准《蓝宝石抛光衬底片表面残留金属元素测量方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。