GB/T 34649-2017

摘要：GB/T 34649-2017标准2017年09月29日发布2018年04月01日实施，此标准规定了磁控溅射用钌靶的要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存、质量证明书和订货单（或合同）内容。此标准适用于微电子领域镀膜用磁控溅射钉靶（以下简称钌靶）。国家标准《磁控溅射用钌靶》由TC243（全国有色金属标准化技术委员会）归口上报，TC243SC5（全国有色金属标准化技术委员会贵金属分会）执行，主管部门为中国有色金属工业协会。