T/GVS 002-2021

摘要：T/GVS 002-2021标准2021年06月28日发布2021年06月28日实施，规定了高精度磁控溅射镀膜设备的术语和定义、组成、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。适用于极限压力在10-5Pa～10-3Pa范围的高精度磁控溅射镀膜设备（以…《高精度磁控溅射镀膜设备通用技术要求》团体名称为广东省真空学会。