GB/T 34177-2017

摘要：GB/T 34177-2017标准2017年09月07日发布2018年08月01日实施，此标准规定了光刻用石英玻璃晶圆(以下简称石英玻璃晶圆)的术语和定义、分类、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。此标准适用于半导体集成电路、光通讯、微机电系统(MEMS)、光电器件和发光二极管(LED)等光刻工艺中用做衬底的石英玻璃晶圆。国家标准《光刻用石英玻璃晶圆》由TC447（全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为中国建筑材料联合会。