GB/T 33826-2017

摘要：GB/T 33826-2017标准2017年05月31日发布2017年12月01日实施，此标准规定了用触针式轮廓仪法测量玻璃衬底上纳米薄膜厚度的原理、仪器要求、试验环境、要求、步骤及测试报告等。此标准适用于玻璃衬底上厚度在10nm~1000nm范围内的纳米薄膜厚度测量，且薄膜与衬底之间存在或可刻蚀出台阶。其他硬质平面衬底可参考此标准执行。国家标准《玻璃衬底上纳米薄膜厚度测量 触针式轮廓仪法》由TC279（全国纳米技术标准化技术委员会）归口上报，TC279SC1（全国纳米技术标准化技术委员会纳米材料分会）执行，主管部门为中国科学院。