GB/T 32816-2016

摘要：GB/T 32816-2016标准2016年08月29日发布2017年03月01日实施，此标准规定了采用以深刻蚀与键合为核心的工艺集成进行MEMS器件加工时应遵循的工艺要求和质量检验要求。此标准适用于基于以深刻蚀与键合为核心的工艺集成的加工和质量检验。国家标准《硅基MEMS制造技术 以深刻蚀与键合为核心的工艺集成规范》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。