摘要:GB/T 32652-2016标准2016年04月25日发布2016年11月01日实施,此标准规定了多晶硅铸锭石英坩埚用熔融石英料的技术要求、检验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。此标准适用于太阳能级多晶硅铸锭石英坩埚用熔融石英料。国家标准《多晶硅铸锭石英坩埚用熔融石英料》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。
分类:电子学
更新:2025-01-16最后编辑
名称:GB/T 32652-2016 多晶硅铸锭石英坩埚用熔融石英料
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