GB/T 31469-2015

摘要：GB/T 31469-2015标准2015年05月15日发布2016年01月01日实施，此标准规定了半导体材料切液的各项技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、储存及运输等要求。此标准适用于半导体材料线切割加工采用的切削液。国家标准《半导体材料切削液》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。