GB/T 31352-2014

摘要：GB/T 31352-2014标准2014年12月31日发布2015年09月01日实施，此标准规定了蓝宝石切割片、研磨片、抛光片（以下简称蓝宝石衬底片）翘曲度的测试方法。 此标准适用于直径50.8mm～304.8mm，厚度为不小于200m的蓝宝石衬底片翘曲度的测试。国家标准《蓝宝石衬底片翘曲度测试方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。