GB/T 30857-2014

摘要：GB/T 30857-2014标准2014年07月24日发布2015年04月01日实施，此标准规定了制备氮化镓薄膜外延片及其他用途的蓝宝石单晶切割片、研磨片、抛光片(简称衬底片)厚度和厚度变化是否满足标准限度要求的测试方法。此标准适用于蓝宝石衬底片厚度及厚度变化的测试。国家标准《蓝宝石衬底片厚度及厚度变化测试方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。