GB/T 31227-2014

摘要：GB/T 31227-2014标准2014年09月30日发布2015年04月15日实施，此标准规定了使用原子力显微镜(AFM)测量表面粗糙度的方法此标准适用于测量溅射成膜方法生成的、平均粗糙度Ra小于100nm的薄膜。其他非溅射薄膜的表面粗糙度的测量可以参考此方法。国家标准《原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法》由TC279（全国纳米技术标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为中国科学院。