摘要：GB/T 30116-2013标准2013年12月17日发布2014年04月15日实施，此标准规定了为保证半导体生产设施与用于生产半导体器件的设备能一起可靠运行的电磁兼容性（EMC）要求。 u3000u3000 u3000u3000此标准适用于生产半导体器件的设施和设备，这些设施和设备涵盖所有的设施警报、安全、通信与控制系统、工艺设备、测量设备、自动化设备以及信息技术设备。 u3000u3000 u3000u3000此标准不适用于集成电路的封装与功能测试所采用的设备和设施，也不适用于可能在半导体生产过程中产生的静电。国家标准《半导体生产设施电磁兼容性要求》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
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更新：2025-01-15最后编辑
名称：GB/T 30116-2013 半导体生产设施电磁兼容性要求
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