摘要:GB/T 29851-2013标准2013年11月12日发布2014年04月15日实施,此标准规定了用二次离子质谱仪(SIMS)测定光伏电池用硅材料中硼和铝含量的方法。 此标准适用于光伏电池用硅材料中受主杂质硼和铝含量的定量分析,其中硼和铝的浓度均大于1×1013atoms/cm3。其它受主杂质的测量也可参照此标准。国家标准《光伏电池用硅材料中B、Al受主杂质含量的二次离子质谱测量方法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。
分类:电气工程
更新:2025-01-15最后编辑
名称:GB/T 29851-2013 光伏电池用硅材料中B、Al受主杂质含量的二次离子质谱测量方法
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