GB/T 29852-2013

摘要：GB/T 29852-2013标准2013年11月12日发布2014年04月15日实施，此标准规定了用二次离子质谱仪（SIMS）测定光伏电池用硅材料中磷、砷和锑含量的方法。 u3000u3000 u3000u3000此标准适用于光伏电池用硅材料中施主杂质磷、砷和锑含量的定量分析，其中磷、砷和锑的浓度均大于1×1014atoms/cm3。国家标准《光伏电池用硅材料中P、As、Sb施主杂质含量的二次离子质谱测量方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。