摘要:GB/T 29658-2013标准2013年09月06日发布2014年05月01日实施,此标准规定了电子薄膜制备用高纯铝及铝合金靶材的要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、存贮、订货单(或合同)等内容。 此标准适用于电子薄膜用各类高纯铝及铝合金溅射靶材(以下简称铝靶)。国家标准《电子薄膜用高纯铝及铝合金溅射靶材》由TC243(全国有色金属标准化技术委员会)归口上报,TC243SC1(全国有色金属标准化技术委员会轻金属分会)执行,主管部门为中国有色金属工业协会。
分类:冶金
更新:2025-01-15最后编辑
名称:GB/T 29658-2013 电子薄膜用高纯铝及铝合金溅射靶材
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