GB/T 29557-2013

摘要：GB/T 29557-2013标准2013年07月19日发布2014年03月01日实施，此标准规定了溅射深度剖析中测量溅射深度的准则。此标准适用于结合离子轰击剥离部分固体样品的表面化学分析技术,通常溅射深度可达几微米。国家标准《表面化学分析 深度剖析 溅射深度测量》由TC38（全国微束分析标准化技术委员会）归口上报，TC38SC2（全国微束分析标准化技术委员会表面化学分析分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。