GB/T 29190-2012

摘要：GB/T 29190-2012标准2012年12月31日发布2013年06月01日实施，此标准规定了SPM漂移速率的术语和定义、缩略语、测量步骤、性能参数规格,及基于SPM扫描图像的漂移速率测量基本方法。此标准适用于0.01nm/s到10 nm/s的漂移速率测量。此标准中的漂移测量不适用于图像校正。国家标准《扫描探针显微镜漂移速率测量方法》由TC279（全国纳米技术标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为中国科学院。