摘要：GB/T 15861-2012标准2012年11月05日发布2013年02月15日实施，此标准规定了离子束蚀刻机的术语、产品分类、技术要求、试验方法、检验规则以及包装、运输、贮存。 u3000u3000 u3000u3000此标准适用于物理溅射腐蚀作用的通用离子束蚀刻机。其它专用离子束蚀刻机亦可参照执行。国家标准《离子束蚀刻机通用规范》由339-1（工业和信息化部（电子））归口上报及执行，主管部门为工业和信息化部（电子）。
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更新：2025-01-15最后编辑
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