GB/T 28275-2012

摘要：GB/T 28275-2012标准2012年05月11日发布2012年12月01日实施，此标准规定了采用氢氧化钾腐蚀工艺进行MEMS器件加工时应遵循的工艺要求。此标准适用于氮氧化钾腐蚀工艺和管理。国家标准《硅基MEMS制造技术 氢氧化钾腐蚀工艺规范》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。