T/CASAS 014-2021

摘要：T/CASAS 014-2021标准2021年11月01日发布2021年12月01日实施，碳化硅（SiC）具有高临界击穿场强、高的热导率、高电子饱和漂移速率、优越的机械特性和物理、化学稳定性等特点，可用于制作高温大功率器件。使用碳化硅作为衬底生长器件结构时，衬底质量…《碳化硅衬底基平面弯曲的测定 高分辨X射线衍射法》团体名称为北京第三代半导体产业技术创新战略联盟。