T/GVS 003-2021

摘要：T/GVS 003-2021标准2021年06月28日发布2021年06月28日实施，规定了真空表面处理工艺常用离子源的术语和定义、分类、使用条件、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。适用于在真空环境下用于表面处理工艺的常用离子源（以下简称离子…《真空表面处理工艺用离子源》团体名称为广东省真空学会。