T/SZMES 3-2021

摘要：T/SZMES 3-2021标准2021年05月28日发布2021年06月01日实施，本文件规定了一种基于基片弯曲法的薄膜应力测定的术语和定义，包括：基片、薄膜、试样、厚度、镀膜、物理气相沉积技术、曲率半径。测量原理：测量基片在单面镀膜前后的曲率半径，基片初始曲…《薄膜应力测定 基片弯曲法》团体名称为深圳市机械工程学会。