摘要：YS/T 14-2015标准2015年04月30日发布2015年10月01日实施，本标准适用于测量衬底与沉积层之间界面层厚度小于100nm的异质外延层和硅多晶层的厚度，测量范围为1μm～100μm。中文标题为《异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法》
分类：制造业
更新：2025-01-15最后编辑
名称：YS/T 14-2015 异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法
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摘要：YS/T 14-2015标准2015年04月30日发布2015年10月01日实施，本标准适用于测量衬底与沉积层之间界面层厚度小于100nm的异质外延层和硅多晶层的厚度，测量范围为1μm～100μm。中文标题为《异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法》
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