T/CSTM 00537-2021

摘要：T/CSTM 00537-2021标准2021年05月11日发布2021年08月11日实施，本文件规定了光功率分析法测试薄膜材料相变温度的术语和定义、原理、仪器和试剂、样品处理、仪器校准、测试过程、数据处理、不确定度评定和测试报告等。本文件适用于厚度为5nm~100μ…《微纳薄膜相变温度测试 光功率分析法》团体名称为中关村材料试验技术联盟。