T/NLIA 002-2021

摘要：T/NLIA 002-2021标准2021年04月26日发布2021年06月01日实施，本文件规定了汽车MEMS压力传感器灌封工艺的仿真信息，包含了汽车MEMS压力传感器灌封工艺仿真的基本流程：仿真模型构建、仿真运行分析、结果评价与工艺优化等。本文件用于指导汽车M…《汽车MEMS压力传感器灌封工艺仿真规范》团体名称为武汉·中国光谷激光加工产业技术创新战略联盟。