T/CAS 304-2018

摘要：T/CAS 304-2018标准2018年05月29日发布2018年05月29日实施，本标准规定了磁控溅射硅靶材的分类及牌号、原料、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、供货状态及订货单（或合同）内容。本标准适用于半导体等电子器件用的各种磁控溅射…《磁控溅射硅靶材及绑定靶材》团体名称为中国标准化协会。