T/SHXCL 0004-2021

摘要：T/SHXCL 0004-2021标准2021年04月12日发布2021年05月30日实施，本文件规定了无纺布/聚氨酯复合抛光垫（以下简称抛光垫）的分类、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存。本文件适用于抛光垫，用于硅晶片、LCD基片及玻璃面板，蓝宝石衬底…《无纺布/聚氨酯复合抛光垫》团体名称为上海市新材料协会。