T/BSPT 002-2018

摘要：T/BSPT 002-2018标准2018年06月20日发布2018年07月01日实施，离子束辐照技术可使准直的纳米线或平面的纳米薄膜由于应变而在三维空间产生弯曲或折叠，在构建高性能的三维微纳电子器件、光电器件和光学元件等领域具有重要应用价值。本标准提供一种利用离…《微纳加工 离子束辐照应变诱导三维纳米结构与器件的加工方法》团体名称为北京粉体技术协会。