GB/T 11164-2011

摘要：GB/T 11164-2011标准2011年11月21日发布2012年03月01日实施，此标准规定了真空镀膜设备的技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存等要求。此标准适用于压力在100000/1 Pa～1000/1 Pa范围的真空蒸发类、溅射类、离子镀类真空镀膜设备(以下简称设备)。国家标准《真空镀膜设备通用技术条件》由TC18（全国真空技术标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为中国机械工业联合会。