T/CESA 1081-2020

摘要：T/CESA 1081-2020标准2020年06月20日发布2020年06月20日实施，本标准规定了半导体集成电路制造业　晶圆　绿色工厂评价（以下简称“评价”）的原则、方法、指标体系及要求、程序等。本标准适用于对具有晶圆大小为8英寸或12英寸的半导体集成电路晶圆产…《半导体集成电路制造业 晶圆 绿色工厂评价要求》团体名称为中国电子工业标准化技术协会。