GB/T 25755-2010

摘要：GB/T 25755-2010标准2010年12月23日发布2011年10月01日实施，此标准规定了溅射离子泵(以下简称离子泵)性能参数的测量方法。此标准适用于名义体积流率大于10L／s的离子泵。此标准测量体积流率的压力范围从1.5X10-3Pa到1X10-7Pa。注:此标准保证了离于泵性能参数的澜量在相同的条件下按相同的方法进行．由此做到由各制造厂家或务实验室所作的测量与制造厂家在样本中给定的资料是可比的。国家标准《真空技术 溅射离子泵 性能参数的测量》由TC18（全国真空技术标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为中国机械工业联合会。