T/SICA 001-2020

摘要：T/SICA 001-2020标准2020年04月29日发布2020年06月01日实施，本标准规定了在用硫酸法工艺生产钛白粉时，采用集成电路制造行业废硫酸的要求，主要技术指标为，硫酸（H2SO4）≥60W/%；过氧化氢（H2O2）≤0.5W/%；铁（Fe）≤0.0…《钛白粉用集成电路制造行业废硫酸》团体名称为上海市集成电路行业协会。