GB/T 24577-2009

摘要：GB/T 24577-2009标准2009年10月30日发布2010年06月01日实施，此标准规定了硅片表面的有机污染物的定性和定量方法,采用气质联用仪或磷选择检测器或者两者同时采用。国家标准《热解吸气相色谱法测定硅片表面的有机污染物》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。