T/ICMTIA 3-2020

摘要：T/ICMTIA 3-2020标准2020年02月24日发布2020年04月24日实施，本标准规定了集成电路用六氯乙硅烷的技术要求，检测方法，包装与运输及安全的要求。其中，检测方法涵盖抽样和判定原则、组分的测定和杂质元素含量的测定等内容。《集成电路用六氯乙硅烷》团体名称为中关村集成电路材料产业技术创新联盟。