T/CSTM 01199-2024

摘要：T/CSTM 01199-2024标准2024年01月05日发布2024年04月05日实施，本文件规定了X射线光电子能谱仪（XPS）深度剖析测量多层金属薄膜层结构的分析方法。本文件适用于70nm~240nm深度内纳米尺度多层金属薄膜层成分、化学态、膜厚…《多层金属薄膜 层结构测量分析方法 X射线光电子能谱》团体名称为中关村材料试验技术联盟。