T/IAWBS 007-2018

摘要：T/IAWBS 007-2018标准2018年12月06日发布2018年12月17日实施，本标准规定了4H-N型重掺杂碳化硅衬底（N型掺杂浓度>5×1018cm-3）上同质外延层（掺杂浓度5×1014cm-3-5×1016cm-3）厚度的红外反射测量方法。本标准适用…《4H 碳化硅同质外延层厚度的红外反射测量方法》团体名称为中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟。