T/CASAS 026-2023

摘要：T/CASAS 026-2023标准2023年06月19日发布2023年06月19日实施，本文件描述了用微波光电导法测定碳化硅少数载流子寿命的方法。本文件适用于少数载流子寿命为20ns～200μs的碳化硅晶片的寿命测定及质量评价。《碳化硅少数载流子寿命测定微波光电导衰减法》团体名称为北京第三代半导体产业技术创新战略联盟。