T/CASAS 025-2023

摘要：T/CASAS 025-2023标准2023年06月19日发布2023年06月19日实施，本文件规定了8英寸碳化硅衬底片基准标记及尺寸。本文件适用于碳化硅切割片、研磨片和抛光片。注：　碳化硅衬底片主要用于制作电力电子器件的外延衬底。《8英寸碳化硅衬底片基准标记及尺寸》团体名称为北京第三代半导体产业技术创新战略联盟。