T/ZJATA 0017-2023

摘要：T/ZJATA 0017-2023标准2023年06月20日发布2023年07月20日实施，本文件包含了制备碳化硅半导体材料用化学气相沉积法(CVD)外延设备（以下简称“外延设备”）的产品分类、工作条件、技术要求、试验方法、检测规则、标志、包装、运输和贮存要求内容，对…《制备碳化硅半导体材料用化学气相沉积法(CVD)外延设备》团体名称为浙江省分析测试协会。