T/ICMTIA 1-2019

摘要：T/ICMTIA 1-2019标准2019年04月17日发布2019年10月10日实施，本标准规范了集成电路用气体的检测方法及检验报告的制作，包装与存储要求、安全和环保要求，以及生产过程的基础管理要求等。《集成电路材料产业技术创新联盟气体基础规范》团体名称为中关村集成电路材料产业技术创新联盟。