GB/T 42659-2023

摘要：GB/T 42659-2023标准2023年08月06日发布2024年03月01日实施，此标准描述了用于最高等级几何量测量的扫描探针显微镜（SPM）扫描轴的表征和校准方法，适用于提供进一步校准的测量系统，而不适用于校准等级需求较低的一般工业应用。国家标准《表面化学分析 扫描探针显微术 采用扫描探针显微镜测定几何量：测量系统校准》由TC38（全国微束分析标准化技术委员会）归口上报，TC38SC2（全国微束分析标准化技术委员会表面化学分析分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。