GB/T 10067.417-2023

摘要：GB/T 10067.417-2023标准2023年05月23日发布2023年12月01日实施，此标准规定了碳化硅单晶生长装置的产品分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存以及订购与供货。此标准适用于在真空或保护气氛下，采用间接电阻加热生长碳化硅单晶的电热装置。采用高频感应加热的生长碳化硅单晶的装置参照使用。此标准适用于物理气相输运法碳化硅单晶生长装置，其他方法的碳化硅单晶生长装置参照使用。国家标准《电热和电磁处理装置基本技术条件 第417部分：碳化硅单晶生长装置》由TC121（全国工业电热设备标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为中国电器工业协会。