GB/Z 42625-2023

摘要：GB/Z 42625-2023标准2023年05月23日发布2023年05月23日实施，此标准规定了四极质谱仪的特性，该质谱仪的离子源为电子轰击型，原子的质荷比（m/z）小于300。此标准不适用于配有其他类型离子源的四极质谱仪，比如化学电离型离子源光电离型离子源或场电离型离子源，也不适用于分析测量较大质荷比（m/z）的四极质谱仪，它们主要用于检测有机材料。根据已出版的文献可知，四极质谱仪的计量特性依赖于仪器的设置、总压力和混合气体成分，因此，对所有应用状况下的四极质谱仪进行校准是不现实的。此标准中规定的特性方法包括真空系统的连续泄漏监测、采用示踪气体的漏率测量、残余气体分析和材料放气率测试。使用者能选择适合自身需求的特性方法，其他应用情况也能参照此标准的特性方法。已知四极质谱仪部分参数的稳定性较差，尤其是灵敏度。因此，已校准参数，当需要精度更高时，仍需反复再校准。实际工况下，只能现场校准。因此，此标准不仅描述了校准实验室或者国家计量机构能如何校准四极质谱仪，并直接溯源到国际单位制（SI），而且描述了如何能在现场检查和维护已校准参数。国家标准《真空技术 真空计 用于分压力测量的四极质谱仪特性》由TC18（全国真空技术标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为中国机械工业联合会。