T/BEA 43002-2023

摘要：T/BEA 43002-2023标准2023年02月20日发布2023年04月19日实施，1　范围本规范适用于电子密度范围1012m-3~1018m-3，电子温度范围1eV~10eV的低温等离子体朗缪尔单探针等离子体测试仪（下文简称等离子体测试仪）的校准。2　引用文…《朗缪尔单探针等离子体测试仪校准规范》团体名称为北京电子仪器行业协会。