GB/T 25915.15-2022

摘要：GB/T 25915.15-2022标准2022年12月30日发布2023年07月01日实施，此标准规定了评定洁净室及相关受控环境中设备和材料的适用性要求，提供了指南。此标准不适用于以下内容：健康和安全要求；清洁剂及清洁技术的相容性；清洁性；生物污染；工艺和产品对设备和材料的特定要求；设备的设计细节。国家标准《洁净室及相关受控环境 第15部分： 按气态化学物浓度评定设备及材料的适用性》由TC319（全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。