GB/T 12963-2022

摘要:GB/T 12963-2022标准2022年12月30日发布2023年07月01日实施,此标准规定了电子级多晶硅的牌号和类别、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、随行文件和订货单内容。此标准适用于以氯硅烷、硅烷制得的电子级多晶硅(以下简称“多晶硅”)。国家标准《电子级多晶硅》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行,主管部门为国家标准化管理委员会。

分类:电气工程

更新:2025-01-17最后编辑

GB/T 12963-2022 电子级多晶硅

名称:GB/T 12963-2022 电子级多晶硅

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