GB/T 37211.3-2022

摘要：GB/T 37211.3-2022标准2022年12月30日发布2023年04月01日实施，此标准规定了辉光放电质谱法测定金属锗中痕量杂质元素含量的方法。此标准适用于金属锗中痕量杂质元素含量的测定，测定范围为0.001mg/kg ~ 2mg/kg。国家标准《金属锗化学分析方法 第3部分:痕量杂质元素的测定 辉光放电质谱法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。